如何在真空处理中应用感应加热技术

　　对特殊金属和半导体的处理中，要求气体与氧或其它可能成为污染的空气隔离。因此，一个对某种产品过程感兴趣的实验室研究出一种真空中的感应加热。
      真空处理中关键在于通常根据不同的电压产品不同的电压产生不同的电离气体或等离子体。因此要求真空引线的输入电极的电压限制在200V以内。此外，因为工件产品的电压直接与频率相关，在高频电源情况下在匝之间有产品等离子体或电弧的倾向。因此，要求使用与应用可配合的最小频率以获得好的操作。还有，当应用回填气时，应根据最大电离电压和过程气体的适用度进行选择。
一、真空熔化
      最基本的真空感应过程可能是金属熔化。是个小的实验装置。用一个20KW，10KHz的电源能熔化2.3KG 的铁或钢。对有色金属熔化，通常用石墨坩埚。用一种绝缘物质包裹，外面的工作线圈用一种叫做同轴环形真空引线与电源相连。这使得坩埚可在完成熔化后人工倾斜，从而倒入也在装置中的模子。熔化过程中还须防止合金物质加入坩埚。坩埚上远处有一个可移动的盖子以在熔化操作中保存温度。一些大的系统有气密的特性，以便在不打破真空密封的情况下装入更多的特质熔化，此外，评多系统包括附加透气装置以使装热的模子导入主装置，装满熔化物后移出，但不破坏真空密封性。