什么是磁化器
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磁化器是一种在磁场中易于加热的材料。在加热过程中,由它通过热传导、热交换或热幅射来加热工件。这种材料,主要用于那些不能用感应加热方法直接加热的工艺中。由于它只是一个热源而不是要加热的工件,因而必须具备如下特征;
1、它必须易于感应加热到所需温度。
2、它不能对工艺过程造成影响和污染
3、它必须易于成形和加工
1、它必须易于感应加热到所需温度。
2、它不能对工艺过程造成影响和污染
3、它必须易于成形和加工
半导体和光纤工业中硅、锗、砷化稼、氧化锆的高温加热是磁化器应用上的典型例子。这些材料的电阻率很高,在8MHz以下是绝缘体。只有在很高的温度和很高的频率下,它们才能被感应加热,并且最好是间接感应加热。
感应加热中最常用的磁化器材料是石墨,这种材料能在3000摄氏度以下有效地使用。石墨的电阻率比较适中,是电源理想的负载,石墨又易于机加工,各种用途的管状、筒状或其他形状的磁化器材料已经成为商品。
石墨材料可分成几类,根据不同的用途可以选用不同类型的石墨材料。此外,有一种叫热解石墨的材料。用这种材料加工的平面作绝缘体而不是作磁化器。由于它也是石墨的一种,因而也能承受与其它磁化器所要求达到的同样温度。在某些半导体制造中,碳-石墨磁化器中含有热解石墨材料作为感受器或涂复剂。这种感受器在其中作为绝缘,用以减小磁化器的空间散射损耗。
石墨易于氧化,如果工作在氧环境,其性能就会变化。因此,它一般应用在无氧环境。比如真空环境或都在磁化器及工件周围充保护氧体,在半导体制中使用的磁化器应当经常用酸洗处理以除去辅生物,石墨的碳仳硅外皮保护。
在某些应用中,比如铁质粉末冶金产品的烧结,由于碳能污染被烧结工件,因此不能用碳材料而使用钼作磁化材料。虽然钼的价格高,但它具有良好的导电特征和机加工特征,且不易受工艺过程影响,因而适用于作感应加热磁化材料。钼常用在氢环境中,用于钨钼等高温材料的烧结.
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