感应加热石墨基座

加热石墨 Susceptor

目标

加热至 1100 ° C，氮和氢的惰性气氛中的石墨 susceptor。Susceptor 是用于金属氧化物化学气相沉积 （MOCVD） 晶体生长实验。温度达到核查是至关重要的。
测量直径和 1 1/4 厚 3″ 的材料石墨 Susceptor。
温度 1100 ° C
频率 171 kHz
包括一个 1 远程热站含有两个 2 1.0 μF 电容器和高压变压器和四 4 30KW 固态感应电源的设备电源打开螺旋管的内径和长度为 1 1/2 ″ 5 ″。
进程的能力 ； 四 4 30KW 固态感应电源打开螺旋线圈和两个彩色红外光学高温计被用来实现下列结果：
在五个 5 分钟为读取两个彩色红外光学高温计达成了结果 • 1100 ° C。
• 甚至热模式被观察到。